§国内主要有专利10项
1)CN02823045.0 硅麦克风(楼氏电子有限公司)
2)CN200410033638.1 微硅麦克风及其制备方法(北京大学)
3)CN200480018356.2 硅麦克风的制造(森斯费伯私人有限公司,新加坡)
4)CN200520084434.0 抗干扰性能强的硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)
5)CN200520084435.5 长声道硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)
6)CN200410098803.1 可实现声源定向的硅微麦克风组合体(清华大学)
7)CN00105555.0 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法(清华大学)
8)CN00231331.6 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构(清华大学)
9)CN200510026626.0 单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法(复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学)
10)CN200410100283.3 可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构(美律实业股份有限公司)
11)CN200410042170.2 电容式硅基微麦克风及其制法(美律实业股份有限公司)
12)CN200410100284.8 硅晶微麦克风的制作方法(美律实业股份有限公司)