主题：镀膜工艺的讨论

大家都来讨论一下镀膜的工艺吧，所做膜片有部分出现镀层开裂的现象，不知谁能解释一下都有哪些因素会影响到镀层的状态？

镀的膜有FEP的、还有PET的。是镀镍的。厚度无条件测量，不过有阻抗要求，阻抗在300±100Ω。用的是真空磁控溅射，侧面溅射，中间用工件架装好40盘，转动进行镀镍。

是的，那不知真空度抽至多少以下为好？膜片表面状态，是说膜本身还是说膜表面粘附的杂物？真空系统洁净度又是怎么个说法呢？那应该的金属纯度又要达到多少以上呢？盼解答，谢谢。

哦，谢谢您的解答。

1、我这镀膜是在充氩气的环境下进行的。充氩气前的本底真空度已达到3.5*10-3；

2、膜片的表面张力多少为好？

3、返油现象如何判定？

4、在此再问一下，杜邦的FEP膜与东丽的FEP膜有何质量上面的不同？

如果扩散泵的油出现氧化（最终镀膜时的真空度与未氧化前一样），除了会影响系统的抽真空速度外，对镀层的质量有没有影响？

哦，谢谢，那如果扩散泵的油用的时间很久都没有更换，又会有什么影响？

哦，谢谢，那如果扩散泵的油用的时间很久都没有更换，又会有什么影响？