主题：镀膜工艺的讨论

楼主，你镀的是什么膜？镀的金属层是什么？镀层厚度是多少？用什么镀膜工艺？

楼主说的镀层开裂的现象，应该主要集中在镀FEP膜上吧，这是由磁控溅射方式与镀的膜片有关。影响镀层质量的因素有：真空度、膜片表面状态、金属纯度、真空系统洁净度等等，这是多种因素综合的结果。

1 、镀膜时真空度越低越好，但这样会影响效率，这涉及空气分子的自由程问题了，因为在镀膜时，空气分子较多的话，会影响镀层质量：降低金属分子与膜片的附着力；会产生金属氧化物；镀层会产生杂质等；你可以根据镀膜室的面积计算所需的真空度；

2、膜片表面若粘有杂质，会影响镀层质量，膜片的表面状态，这还涉及膜片表面张力的问题；

3、你现在用的应该是油真空抽气系统，这就有可能出现返油现象，影响镀层质量；

4、金属纯度会影响镀层的质量。

   以上观点，只是个人意见，仅供参考。

东丽的要比杜邦的外观视觉上好一些

扩散泵油氧化会降低高真空的抽速，对镀层影响极小。当然也要看氧化的原因。

扩散泵是一种蒸气射流泵，其作用是通过扩散泵油的动能在抽气方向上传给被抽气体，通过逐级压缩将气体排出。其工作范围为10^-2～10^-5 Pa。只要现在抽气速率未降低，个人认为可不用去理会扩散泵油的使用时间。